PFM750S-C8L-B SMC miernik przepływu gazu 1-50l/min
8711 WITT MFC Methan i O2 Masowy kontroler przepływu mieszacz MFC-AWE BZ
Silnik DC z przekładnią 47C-FU-107-D644 86 obr.
Klistron mikrofalowy PP-21
Kondensator olejowy wysokiego napięcia 4kV 0,047uF
DL5E-1 Kromschroder 84444250 Presostat 1,2mbar
Kwarcowy wziernik próżniowy wizjer komory 46x16cm
D638E128 MOOG hydrauliczny zawór proporcjonalny
21H4AC-1.7-001 aktuator krokowy z enkoderem AS5040
HG-SR152 MITSUBISHI serwomotor 1,5kW Sprzęgło
RT 3021 P TRUMPF Trioda mocy RF 15kW lasera CO2 z gniazdem
WTB4S-3P2204VS02 SICK Czujnik optyczny 4-280mm
PAF3410-03-B SMC Automatyczna pompa procesowa
