L25G-SB-12,000-M5-ABZC-8830 BEI enkoder inkrement.
ASL1600-20 Sensirion Masowy kontroler przepływu
AV4000-04-5D-Q SMC Elektrozawór miękkiego startu
Manometr wakuometr OXFORD WIKA -34 do 408mbar
0330 A 4,0 FKM VA BURKERT Elektrozawór DC 24V 2/2
ZSE30A-01-N SMC Przełącznik podciśnienia -101kPa
HC-SFS152B MITSUBISHI serwomotor 1,5kW przekładnia
C7041 HAMAMATSU CCD detektor światła UV
XP3422 PHILIPS Fotopowielacz detektor światła
Zaciskacz złącza próżniowego ISO KF40 próżniowy