SEC-E80 Masowy kontroler przepływu MFC HORIBA STEC
34S502-0700-D05LD-AA Jenaer R055712946 REXROTH
Klistron mikrofalowy PP-21
MP9100 Caddock x18 Rezystor 100W 1R blok wodny
3W30KH-DR WVS-Technology Trioda mocy 30kW 110MHz
8711 3,0 Nl/min 0-10V WITT GASS MFC Masowy kontroler przepływu tlenu
ZR115S2-K15LOZ-Q SMC eżektor generator podciśnień
IRV1000P RARA 20ohm 1000W rezystor hamowania
43F4B-05-104 HAYDON Switch aktuator silnik krokowy
S070B-5BG SMC Miniaturowy elektrozawór DC24V
61-200095-041 SBA 700-0099 Regulowany transformator z napędem 0-230V 3,2A
Kondensator olejowy wysokiego napięcia 4kV 0,047uF